حسن علمخواه - تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد (دانشجوی دکترای نانومواد)
امیر عبدالهزاده - . تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد (استاد)
فرزاد محبوبی - تهران، دانشگاه صنعتی امیرکبیر، دانشکده معدن و متالورژی (دانشیار)
علیرضا صبور روحاقدم - تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، بخش مهندسی مواد (دانشیار)

هدف از این مقاله، ایجاد پوششهای نانوساختار نیترید تیتانیوم- آلومینیوم TiAlN با حضور نسبتهای مختلف یشمادههای TiCl و 4 AlCl و نیز مقایسه ساختار بلوری و سختی آنها میباشد. برای این منظور، پوششها توسط دستگاه DC-PACVD و در شرایط یکسان دمای لایهنشانی، درصد چرخه کار، بسامد و جریان گازی H2/Ar/N2 به ترتیب در 485 سانتیگراد، 33 درصد، 10 کیلوهرتز و 50/150/400 sccm لایهنشانی شدند. برای ارزیابی اثر میزان نسبت پیشمادهها بر خواص پوشش نانوساختار TiAlN نسبتهای (فرمول در متن اصلی مقاله) 1 تا 3 در نظر گرفته شد. برای مطالعه و ارزیابی خواص پوششهای ایجاد شده از دستگاههای پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان، میکروآنالیزگر الکترونی پروبی و ریزسختیسنج استفاده شد. نتایج دلالت میکند که ساختار بلوری و سختی پوششهای نانوساختار TiAlN با حضور نسبتهای مختلف پیشمادهها دچار تغییر میشود. ابتدا انتظار میرفت تا با افزایش نسبت پیشمادهها، بهعلت تشکیل بیشتر محلول جامد، سختی پوشش افزایش یابد. ولی بهدلیل افزایش درصد عنصر کلر در پوشش TiAlN بهینه نسبت پیشمادههای (فرمول در متن اصلی مقاله) برای ایجاد پوشش با سختی مطلوب، نسبت 2 بدست آمد.

پیشمادههای کلریدی؛ سختی؛ پوشش نانوساختار TiAlN روش PACVD