محبوبه آزادی - تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، مهندسی مواد (دانشجوی دکتری)
علیرضا صبور روح اقدم - تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، مهندسی مواد (دانشیار)
شاهرخ آهنگرانی - تهران، سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو (استادیار)
هامان هدایت مفیدی - تهران، دانشگاه تربیت مدرس، دانشکده فنی و مهندسی، مهندسی مواد (دانشجوی دکتری)

دما و نسبت شار گاز متان به کلرید تیتانیوم از عوامل مهم در تغییر خواص پوشش کاربید تیتانیوم از طریق روش ایجاد رسوب شیمیایی از فاز بخار بهکمک پلاسما PACVD میباشند. لذا بررسی و مقایسه رفتار مکانیکی پوشش کاربید تیتانیوم با ضخامت 2-3 میکرومتر بر روی فولاد H13 با عامل متغیر دما ونسبتهای شار گازی در این مقاله انجام شده است. بدین منظور بعد از ایجاد پوشش، آنالیز پراش اشعه ایکس و طیف سنجی در این مقاله انجام شده است. بدین منظور بعد از ایجاد پوشش، آنالیز پراش اشعه ایکس و طیف سنجی با به کارگیری دستگاه پین روی دیسک، خواص سایشی و با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی، توپولوژی سطح و اندازه گیری میزان زبری سطح پوشش انجام شده است . با افزایش محدوده دمایی از 450 تا 490 درجه سانتیگراد و تغییر نسبت گازی متان به کلرید تیتانیوم از 1/5 1 به 6 پوشش کاربید تیتانیوم از لحاظ ماکروسکوپی دارای طیف رنگی گسترده از خاکستری تیره تا مسی و نقرهای است که بهترین خواص مکانیکی از لحاظ افزایش سختی، مقاومت به سایش و کاهش زبری مربوط به پوشش کاربید تیتانیوم با رنگ نقرهای در دمای 450 درجه سانتی گراد م یباشد.

فاز بخار شیمیایی، پوشش کاربید تیتانیوم، سختی، سایش، پلاسما