تاثیر دما بر روی خواص اپتیکی و ساختاری لایه های نازک اکسید تنگستن تولیدشده به روش تبخیر حرارتی

  • سال انتشار: 1403
  • محل انتشار: سومین کنفرانس ملی پیشرفتهای فناورانه در فیزیک کاربردی
  • کد COI اختصاصی: TAAPY04_010
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 58
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

الهام رحمانی

دانشکده فیزیک، دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین

محمدرضا خانلری

دانشکده فیزیک، دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین

زهرا پاسالاری

دانشکده فیزیک، دانشگاه بین المللی امام خمینی قزوین

چکیده

در این پژوهش، پودر تری اکسید تنگستن (WO۳) با ضخامت ۲۰۰ نانومتر به روش رسوب بخار فیزیکی به صورت تک مرحله ای بر روی زیر لایه هایی از جنس الم آزمایشگاهی در فشار پایه ای حدودا ۱۰-۵ mbar. لایه نشانی شدند و سپس الیه های سنتز شده در محیط آرگون به مدت یک ساعت در دماهای ۲۰۰°C، ۴۰۰°C و ۵۰۰°C بازپخت شدند. مشخصه یابی فیلم های نازک مورد نظر با استفاده از طیف سنجی مرئی - فرابنفش و طیف سنجی فتولومینسانس و همچنین XRD برای بررسی ساختاری فیلم های تولیدی صورت گرفت. تغییرات گاف نواری اپتیکی در دماهای بازپخت متفاوت در این پژوهش گزارش شده است.

کلیدواژه ها

تری اکسید تنگستن, رسوب بخار فیزیکی, فیلم نازک, گاف نواری, طیف سنجی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.