لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی بر زیرلایه شیشه ای به روش RF-PECVD
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: سومین همایش ملی سوخت، انرژی و محیط زیست
- کد COI اختصاصی: FEENC03_006
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2038
نویسندگان
استادیار دانشکده مهندسی مواد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
چکیده
در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما بر زیر لایه شیشه ایلام لایه نشانی شد. ضخامت و رافنس لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از تکنیک هایی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی مورد ارزیابی قرارگرفت. از دستگاه اسپکتروفوتومتری برای بررسی شفافیت پوشش بر زیرلایه شیشه ای استفاده شد. همچنین چسبندگی پوشش به وسیله تست نوار بررسی شد. نتایج ضخامت سنجی نشان داد نرخ لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی3/5 نانومتر بر دقیقه میباشد. همچنین نتایج تست چسبندگی ورافنس سطح نشان داد لایه نازک کربن شبه الماسی از چسبندگی مناسبی بر زیر لایه برخوردار بوده و رافنس سطح نیز کمتر از 5 نانومتر میباشد.کلیدواژه ها
لایه نازک، کربن شبه الماسی- DLC- PECVDRFمقالات مرتبط جدید
- استفاده از مواد دوست دار محیطزیست بهعنوان جایگزین برای صنعت بستهبندی مواد غذایی
- مروری بر کاربرد چارچوبهای فلزی-آلی در جذب دیاکسید کربن
- کنترل بهینه یک مدل دینامیکی امکانات و تسهیلات گردشگری در جهت توسعه پایدار مبتنی بر تاثیرات عوامل محیطی
- بررسی موانع پیاده سازی استانداردهایISO با تاکید بر مدیریت سبز با استفاده از شبکههای عصبی عمیق کانولوشن
- استخراج رمزارز و چالش های آلودگی محیط زیست
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.