لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی بر زیرلایه شیشه ای به روش RF-PECVD

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: سومین همایش ملی سوخت، انرژی و محیط زیست
  • کد COI اختصاصی: FEENC03_006
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 2038
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

اکبر اسحاقی

استادیار دانشکده مهندسی مواد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان

فخر الدین مجیدی

کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان

اسماعیل کرمی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان

چکیده

در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما بر زیر لایه شیشه ایلام لایه نشانی شد. ضخامت و رافنس لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از تکنیک هایی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی مورد ارزیابی قرارگرفت. از دستگاه اسپکتروفوتومتری برای بررسی شفافیت پوشش بر زیرلایه شیشه ای استفاده شد. همچنین چسبندگی پوشش به وسیله تست نوار بررسی شد. نتایج ضخامت سنجی نشان داد نرخ لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی3/5 نانومتر بر دقیقه میباشد. همچنین نتایج تست چسبندگی ورافنس سطح نشان داد لایه نازک کربن شبه الماسی از چسبندگی مناسبی بر زیر لایه برخوردار بوده و رافنس سطح نیز کمتر از 5 نانومتر میباشد.

کلیدواژه ها

لایه نازک، کربن شبه الماسی- DLC- PECVDRF

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.