بررسی اثر افزودنی های مختلف بر حذف ترک فیلم با ضخامت بالای تیتانات زیرکنات سرب PZT تهیه شده به روش سل-ژل

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: نهمین کنگره سرامیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICC09_120
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 572
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

عمید شاکری

دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانشگاه تهران

حسین عبدی زاده

دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانشگاه تهران، قطب علمی مواد با کارآیی بالا

محمد رضا گل و بستان فرد

دانشکده مهندسی متالورژی و مواد، پردیس دانشکده های فنی، دانشگاه تهران

چکیده

جهت استفاده از سرامیک پیزوالکتریک تیتانات زیرکنات سرب Pb(Zrx,Ti1-x)O3 در صنایع میکروالکترومکانیکی (MEMS) و تجهیزات میکرواپتیکی، نیازمند تولید فیلم هایی با ضخامت بالا (بیش از 10 میکرومتر) می باشد. مشکل عمده در سنتز فیلم های با ضخامت بالا به روش سل– ژل، به وجود آمدن ترک در فیلم است. در این پژوهش تاثیر افزودنی های گلیسیرین، اتانول آمین، متانول و 1-پروپانول در سل پایه اسیدی با غلظت بالا، در جلوگیری از ترک برداشتن فیلم بررسی شده است. سل های بدست آمده با استفاده از روش لایه نشانی چرخشی لایه نشانی شده و در دمای 600 درجه سانتیگراد کلسینه شدند. شناسایی ترک ها با استفاده از میکروسکوپ نوری انجام شد. با توجه به نتایج بدست آمده، فیلم تهیه شده با استفاده از افزودنی 1-پروپانول تا ضخامتی در حدود 33 میکرومتر عاری از ترک بود. بررسی های فازی، ریزساختار همچنین مورفولوژی سطحی این فیلم با استفاده از آزمون پراش پرتو (XRD) X و میکروسکوپ الکترونی روبشی (FESEM) انجام شد که نشان دهنده فیلمی با ساختار غالب تتراگونال پرووسکایت و بدون ترک می باشد. همچنین با بدست آوردن حلقه هسیترزیس فیلم، پلاریزاسیون پسماند و اشباع و کورسیویتی اندازه گیری شد. با توجه به نتایج بدست آمده پلاریزاسیون پسماند 0/8μC/Cm2 محاسبه شد.

کلیدواژه ها

پیزوالکتریک، تیتانات زیرکنات سرب PZT، سل-ژل، لایه نشانی چرخشی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.