CIVILICA We Respect the Science
(ناشر تخصصی کنفرانسهای کشور / شماره مجوز انتشارات از وزارت فرهنگ و ارشاد اسلامی: ۸۹۷۱)

تاثیر افزودن تیتانیوم به فیلمهای نازک نیترید مس: تغییر در ویژگیها

عنوان مقاله: تاثیر افزودن تیتانیوم به فیلمهای نازک نیترید مس: تغییر در ویژگیها
شناسه (COI) مقاله: THINFILM01_037
منتشر شده در اولین کنفرانس ملی نو آوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها در سال 1390
مشخصات نویسندگان مقاله:

علی رحمتی - گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولی عصر رفسنجان. گروه فیزیک حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیکف دانشگاه نبریز

خلاصه مقاله:
فیلمهای نازک Cu3N و Cu3N با افزودنی Ti (Ti: Cu3N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC به ترتیب با لستفاده از هدفهای فلزی Cu و آلیاژی دوتایی Ti13 Cu87 در محیط نیتروژنی خالص بر روی زیر لایه های (111) Si، کوارتز و اسلاید شیشه ای تهیه شدند. در این کار به نقش افزودنی Ti بر روی مشخصه های ساختاری، ریختیف اپتیکی و الکتریکی فیلمهای حاصل می پردازد. با جایگزینی جایگاه اتمهای Cu و تهی جاهای آن در ساختار Cu3N با اتمهای Ti، فیلمها بلورینگی خوبی به نمایش می گذارند و سبب رشد ترجیهی فیلمها در جهت [100] می گردد. افزودن تیتانیوم شکل دانه را از هرمی - شکل به کروی تغییر می دهد. فرایند جذب غیرمستقیم در فیلمهای Cu3N به مستقیم در فیلمهای Ti :Cu3N تغییر می کند و مقدار انرژی گاف باندی از 1.19 به 3.26 ev افزایش می یابد. افزودن Ti به Cu3N رسانندگی نوع P در فیلمها القا می کند.

صفحه اختصاصی مقاله و دریافت فایل کامل: https://civilica.com/doc/220788/