تاثیر افزودن تیتانیوم به فیلمهای نازک نیترید مس: تغییر در ویژگیها
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: اولین کنفرانس ملی نو آوری ها در پردازش لایه های نازک و مشخصه های آنها
- کد COI اختصاصی: THINFILM01_037
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 762
نویسندگان
گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه ولی عصر رفسنجان. گروه فیزیک حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیکف دانشگاه نبریز
چکیده
فیلمهای نازک Cu3N و Cu3N با افزودنی Ti (Ti: Cu3N) به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی DC به ترتیب با لستفاده از هدفهای فلزی Cu و آلیاژی دوتایی Ti13 Cu87 در محیط نیتروژنی خالص بر روی زیر لایه های (111) Si، کوارتز و اسلاید شیشه ای تهیه شدند. در این کار به نقش افزودنی Ti بر روی مشخصه های ساختاری، ریختیف اپتیکی و الکتریکی فیلمهای حاصل می پردازد. با جایگزینی جایگاه اتمهای Cu و تهی جاهای آن در ساختار Cu3N با اتمهای Ti، فیلمها بلورینگی خوبی به نمایش می گذارند و سبب رشد ترجیهی فیلمها در جهت [100] می گردد. افزودن تیتانیوم شکل دانه را از هرمی - شکل به کروی تغییر می دهد. فرایند جذب غیرمستقیم در فیلمهای Cu3N به مستقیم در فیلمهای Ti :Cu3N تغییر می کند و مقدار انرژی گاف باندی از 1.19 به 3.26 ev افزایش می یابد. افزودن Ti به Cu3N رسانندگی نوع P در فیلمها القا می کند.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- آنالیز افت فشار دو فازی در آکنه های ساختار یافته توسط دینامیک سیالات محاسباتی
- آنالیز افت فشار دو فازی در آکنه های ساختار یافته توسط دینامیک سیالات محاسباتی
- حذف ترکیبات آلی فرار از پساب و هوا توسط نانو الیاف پلیمری الکتروریسی شده
- حذف ترکیبات آلی فرار از پساب و هوا توسط نانو الیاف پلیمری الکتروریسی شده
- حذف ترکیبات آلی فرار از پساب و هوا توسط نانو الیاف پلیمری الکتروریسی شده
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.