A Novel Electro-Thermal Microactuator ; Design and Simulation

  • سال انتشار: 1390
  • محل انتشار: دوازدهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید ایران
  • کد COI اختصاصی: ICME12_412
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1297
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

H. MajidiFardVatan

M. Sc Student of Manufacturing Engineering, University College of Engineering, University of Tehran, Iran

M. Hamedi

Associate Professor of Manufacturing Engineering, University College of Engineering, University of Tehran, Iran

M. Salehi

M. Sc Student of Manufacturing Engineering, University College of Engineering, University of Tehran, Iran

H. Salmani Nohouji

M. Sc Student of Manufacturing Engineering, University College of Engineering, University of Tehran, Iran

چکیده

Microactuators have an extensive application for positioning the microparts in microelectromechanical systems (MEMS). In recent years, there have been many studies performed on different sorts of microactuators. Different systems have been invented for the actuation of microactuators each of which have some advantages and disadvantages and have different applications in different areas. Electro-thermal actuation systems are used more extensively because of having more displacement and also larger gripping force with less necessary voltage in comparison with other microactuator actuation methods. In this paper, a novel microactuator is introduced which is a hybridization of U-shaped and V-shaped actuators. This micro-actuator is designed and its performance is verified using coupled thermal –electrical-displacement analysis

کلیدواژه ها

Electro-thermal, Microactuator, U-shape actuator, V-shape actuator

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.