ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

Artificial Neural Networks Modeling on TiN Coating parameters in Sputtering Process

سال انتشار: 1390
کد COI مقاله: ICME12_006
زبان مقاله: انگلیسیمشاهده این مقاله: 1,221
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 6 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله Artificial Neural Networks Modeling on TiN Coating parameters in Sputtering Process

A Kootsookos - School of Aerospace, Mechanical and Manufacturing Engineering, RMIT University, Melbourne, Australia
A.M Khorasani - Faculty of Hi-Tech and Engineering, Iran University of Industries and Mines, Tehran, Iran
P Saadatkia - Department of Physics, Alzahra University, Tehran, Iran

چکیده مقاله:

Sputtering is a Physical Vapor Deposition (PVD) vacuum process used to deposit very thin films onto a substrate for a wide variety of commercial and scientific purposes. Due to this coating process the material performance will be improved. The objective of this study is to evaluate the hardness of titanium nitride thin film layers by utilizing multi layer perceptron (MLP) artificial neural networks (ANN). For determining the influences of the various sputtering parameters (voltage, work pressure, ion bombard time and Sub-layer temperature) on the hardness of TiN thin films, the Taguchi approach has been used. 50 experiments were performed, varying the PVD parameters and the resulting hardness of the film was measured. From these experiments 42 were used for the training process and 8 have been utilized for validation process. A very good agreement between the ANN predictions and the experimental results was achieved, with a 99.754% correlation between the trained ANN result and the experimental measurements.

کلیدواژه ها:

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا ICME12_006 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/212515/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
Kootsookos, A and Khorasani, A.M and Saadatkia, P,1390,Artificial Neural Networks Modeling on TiN Coating parameters in Sputtering Process,12th Iranian Conference on Manufacturing Engineering (ICME 2010),Tehran,https://civilica.com/doc/212515

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1390, Kootsookos, A؛ A.M Khorasani and P Saadatkia)
برای بار دوم به بعد: (1390, Kootsookos؛ Khorasani and Saadatkia)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Corrosionه [1] M. Diesselberg, H.R. Stock and P. Mayr, protection ...
  • L Cunha, M Andritschky, L Rebouta, R Silva, "Corrosion of ...
  • _ _ Minebaev and V. Yurasova, :The effect of nitrogen ...
  • K.L. Rutherford, P.W. Hatto, C. Davies and I.M. Hutchings, "Abrasive ...
  • H. C. Barshilia, M. S. Prakash. D.V. Sridhara Rao and ...
  • W. Kwasny, W. Sitek and L.A. Dobrzanski, "Modelling of properties ...
  • _ _ reducing TiN coatings on tools", Thin Solid Films, ...
  • _ _ structural and mechanical properties of pulsed DC magnetron ...
  • A.R. Md Nizam, P. Swanson, M. Mohd Razali, B. Esmar ...
  • S. S. Veprek, M.J.G. Veprek-Heij man, P. Karvankova and J. ...
  • F. Kauffmann, Ji. Baohua, G. Dehm, H. Gao and E. ...
  • J.H. Yoo, S.H. Ahn, J.G. Kim and S.Y. Lee, "Influence ...
  • K. Tuffy, G. Byrne and D. Dowling, "Determination of the ...
  • P. Villiger, Ch. Sprecher and J. A. Peters, "Parameter ...
  • K.Y. Chan, P.Q. Luo, Zh.B. Zhou, T.Y. Tou and B.S. ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    مقالات پیشنهادی مرتبط

    مقالات مرتبط جدید

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی