مهرانگیز کاظمی - دانش آموخته کارشناسی ارشد، رشته مهندسی نانو مواد، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
مجید عباسی - دانشیار، دانشکده مهندسی مواد و صنایع، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
حسین میارنعیمی - استاد، دانشکده مهندسی برق، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل
مرضیه عباسی فیروزجاه - استادیار، گروه علوم مهندسی، دانشگاه حکیم سبزواری

در این پژوهش از روش جریان گردابی برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک مس استفاده شد. با انجام عملیات نورد سرد و آنیل روی فویل مس ۱۰۰میکرومتر با خلوص ۳۰۹۹/۸ درصد، نمونهها یی با ضخامتهای ۱۰۰، ۸۵، ۵۰، ۳۰ و ۲۰ میکرومتر تهیه شد. اندازه گیری ضخامت لایه های میکرومتری توسط دستگاه ضخامت سنج دقیق و میکرومتر با دقت ۱ میکرومتر و میکروسکوپ نوری در بزرگنمایی ۴۰۰ برابر انجام شد. بر ای بررسی ضخامت به روش جریان گردابی از تغییرات امپدانس نسبت به ضخامت در بازه فرکانسی ۵۰ تا ۱۵۰ کیلوهرتز با استفاده از یک پراب نرمال با هسته فریتی با قطر ۲ میلی متر استفاده شد. نتایج نشان داد که با افزایش ضخامت فویل، شاخص مقاومت اهمی (Rx) پراب افزایش و در مقابل شاخص مقاومت خودالقایی ((X(L) و شاخصامپدانس (Z)کاهش می یابد. با استفاده از روش جریان گردابی، با دقت بسیار بالا م یتوان رابطه ای تجربی خطی مناسب بین ضخامت فویل و شاخص امپدانس پراب برقرار کرد. فرکانس بهینه برای این ارزیابی ۷۰kHz تعیین شد.

اندازهگیری ضخامت، مس لایه نازک، جریان گردابی، امپدانس