محرک های عملگر الکترومکانیکی در میکرو آینه ها

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: کنگره ملی مهندسی برق، کامپیوتر و فناوری اطلاعات
  • کد COI اختصاصی: CECIT01_424
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1577
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

افرا عابدی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تبریا، عضو انجمن علمی مکاترونیک

فاطمه سیدحاتمی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تبریا، عضو انجمن علمی مکاترونیک

احمد شکرالهی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد یاد، گروه برق

میررضا سیدحاتمی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد اردبیی، گروه برق قدرت

چکیده

نیاز به آینه های میکرو، کاربردهای آن را متنوع می سازد. صافی، زبری و بازتاب از معیارهای مشترک در همه کاربردها می باشد. برای نمایش تصویر وضوح تصویر از عوامل مهم محسوب می شود. یکی از عوامل موثر در وضوح تصویر عملگرهای مورد استفاده در آینه می باشد. از این رو روش های تحریک آینه ها از اهمیت زیادی برخوردار هستند. در اینجا نمونه هایی از روش های تحریک الکترواستاتیکی، الکتروترمال و الکترومغناطسی بررسی خواهد شد

کلیدواژه ها

الکترواستاتیکی، الکتروترمال، الکترومغناطیسی، عملگر، میکرو آینه

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.