طراحی و ساخت میکروسنسور دما بر پایه تکنولوژی MEMS
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: بیست و یکمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE21_393
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2120
نویسندگان
دانش آموخته کارشناسی ارشد دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشیار دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
در این مقاله میکروسنسور دمای مقاومتی بر روی بستر سیلیکون با استفاده از فلزات مختلف و بر پایه تکنولوژی میکروالکترومکانیکال سیستمMEMS) طراحی و ساخته شده است. آشکارساز دمای مقاومتیRTD)میکرومتری به دلیل حجم کوچک، دقت بالا، ساخت آسان و قیمت ارزان به طور گسترده به عنوان سنسور دما مورد استفاده قرار می گیرد. یکی از عوامل تاثیر گذار در حساسیت سنسورهایRTDجنس المان حساس به دمایRTDمی باشد. نیکل و پلاتین دلیل پایداری، خطی بودن و ضریب دمایی مقاوتی TCR)بالا به طور گسترده به عنوان المان حساس به دما در سنسورهای RTDاستفاده می شوند. در این مطالعه ما دو سنسور دمای مقاومتی با طراحی یکسان و متفاوت درالمان حساس به دما ساخته و کالیبره کردیم. در سنسور دمای اول از پلاتین و در سنسور دوماز نیکل به عنوان المان حساس به دما استفاده کردیم و تاثیر المان حساس به دمای نیکلی و پلاتینی را در حساسیت سنسور بررسی کردیم. همان طور که نتایج نشان می دهد سنسور دمای نیکلی فیلم نازک از نظر حساسیت0/9 Ω/0C و خطی بودن از سنسور دمای پلاتینی بهتر استکلیدواژه ها
المان حساس به دما، سنسور دمای مقاومتی میکرومتری، کالیبراسیون، میکروالکترومکانیکال سیستممقالات مرتبط جدید
- مدلسازی و شبیه سازی جبران ساز سری سنکرون استاتیکی توزیع برای حل چالش های شبکه توزیع بر پایه الگوریتم بهینه سازی گرگ خاکستری
- Adaptive Control Strategies for Fast Charging of EVs with Battery Degradation Mitigation
- شناسایی مانع با استفاده از دید استریو برای خودروهای بدون سرنشین
- Multi-Gbest Decomposition for Many-Objective Optimization
- ترکیب منابع انرژی پیزوالکتریک و ترموالکتریک به منظور افزایش کارایی سیستم های برداشت انرژی
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.