طراحی و ساخت میکروسنسور دما بر پایه تکنولوژی MEMS
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: بیست و یکمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE21_393
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2081
نویسندگان
دانش آموخته کارشناسی ارشد دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشیار دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشکده برق و الکترونیک - دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
در این مقاله میکروسنسور دمای مقاومتی بر روی بستر سیلیکون با استفاده از فلزات مختلف و بر پایه تکنولوژی میکروالکترومکانیکال سیستمMEMS) طراحی و ساخته شده است. آشکارساز دمای مقاومتیRTD)میکرومتری به دلیل حجم کوچک، دقت بالا، ساخت آسان و قیمت ارزان به طور گسترده به عنوان سنسور دما مورد استفاده قرار می گیرد. یکی از عوامل تاثیر گذار در حساسیت سنسورهایRTDجنس المان حساس به دمایRTDمی باشد. نیکل و پلاتین دلیل پایداری، خطی بودن و ضریب دمایی مقاوتی TCR)بالا به طور گسترده به عنوان المان حساس به دما در سنسورهای RTDاستفاده می شوند. در این مطالعه ما دو سنسور دمای مقاومتی با طراحی یکسان و متفاوت درالمان حساس به دما ساخته و کالیبره کردیم. در سنسور دمای اول از پلاتین و در سنسور دوماز نیکل به عنوان المان حساس به دما استفاده کردیم و تاثیر المان حساس به دمای نیکلی و پلاتینی را در حساسیت سنسور بررسی کردیم. همان طور که نتایج نشان می دهد سنسور دمای نیکلی فیلم نازک از نظر حساسیت0/9 Ω/0C و خطی بودن از سنسور دمای پلاتینی بهتر استکلیدواژه ها
المان حساس به دما، سنسور دمای مقاومتی میکرومتری، کالیبراسیون، میکروالکترومکانیکال سیستممقالات مرتبط جدید
- HTPA: a hybrid traffic pattern aware arbitration strategy for network on chip systems
- نقش هوش مصنوعی در مدیریت مصرف انرژی
- کارآیی شیلدینگ الکترومغناطیسی ی ک محفظه کامپوزی تی غیرهمسانگرد چندال یه با شکل دلخواه
- حسگرهای انعطافپذیر برای آموزش مهندسی مکاترونیک
- بررسی جامع چالش های اینترنت اشیا و راهکارهای مقابله
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.