طراحی ، شبیه سازی و بهینه سازی هندسی میکروهیتر ساخته شده با تکنولوژی MEMS

  • سال انتشار: 1392
  • محل انتشار: بیست و یکمین کنفرانس مهندسی برق ایران
  • کد COI اختصاصی: ICEE21_355
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 976
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

فاطمه سمائی فر

دانش آموخته کارشناسی ارشد دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر

حسن حاج قاسم

دانشیاردانشگاه صنعتی مالک اشتر

منصور محتشمی فر

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

مجیدرضا علی احمدی

دانشگاه صنعتی مالک اشتر

چکیده

در سال های اخیر به طور گسترده از میکروهیترها در سنسورهای گازی و هم چنین کاربردهایی مثل فلو سنسورها و نیز سنسورهای فشار استفاده می شود. بزرگترین چالش ها در طراحی میکروهیتر نیاز به یکنواختی گرما برای افزایش دقت و حساسیت سنسور، توان مصرفی پایین و مطابقت با پروسه استانداردICبرای توانایی در مجتمع شدن با مدارات الکتریکی و کاهش قیمت در تولید انبوه می باشد. دو نوع ساختار کلی برای میکروهیتر وجود دارد که در این مقاله این دو نوع ساختار از نظر توان مصرفی مقایسه شده و با استفاده از نرم افزارCowentorWareشبیه سازی شده اند و نشان داده شده است که میکروهیتر با ساختار غشای معلق توان مصرفی کمتری نیاز دارد. هم چنین چندین روش برای ایجاد توزیع یکنواخت گرما در میکروهیترها وجود دارد. در این مقاله روش اصلاح شکل هندسی میکروهیتر بررسی شده است. هشت هندسه مختلف به کمک نرم افزارCowentorWareشبیه سازی شده است تا مشخص شودمیکروهیتر با کدام هندسه بیشترین یکنواختی گرما را داراست. نتایج شبیه سازی نشان می دهد که ساختارΩ شکل بیشترین یکنواختی گرما را دارد.

کلیدواژه ها

آنالیز المان محدود، توان مصرفی کم، سنسور گاز، میکروهیتر، میکرو الکترومکانیکال سیستم

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.