طراحی مخازن متغیر MEMS با دوصفحه متحرک با استفاده ازتکنولوژی CMOS
- سال انتشار: 1392
- محل انتشار: بیست و یکمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE21_354
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 947
نویسندگان
موسسه آموزش عالی سجادمشهد
چکیده
دراین مقاله خازن های الکترومکانیکی که باتنظیم فاصله هوایی تغییر ظرفیت می دهند مورد بررسی قرارگرفته و عوامل موثردرکاهش بازه تنظیم و ضریب کیفیت یک خازن متغیر شناسایی و ارایه شده است و بهمنظور افزایش همزمان بازه تنظیم و ضریب کیفیت یک خازن سه صفحه ای که ازدو صفحه متحرک و یک صفحه ثابت تشکیل شده است و قابل ساخت درفرایند استاندارد CMOS است طراحی و شبیه سازی شده است همچنین ویژگیهای تکنولوژی CMOS با ذکرمزایای استفاده ازآن درساخت خازن های متغیر MEMS بیان گردیده و نحوه ساخت خازن سه صفحه ای با استفاده ازلایه های فلزی این تکنولوژی معین شده است شبیه سازی خازن به وسیله نرم افزار EM3DS صورت گرفته و نتایج حاصل بازه تنظیم 300درصد را نشان میدهد که نسبت به خازن صفحه موازی معمول 6برابر افزایش یافته است استفاده ازلاهی های فلزی موجود درفرایند 0.18μm CMOS درطراحی صفحات خازن موجب کاهش مقاومت سری و افزایش ضریب کیفیت به 300 درGHZ 1 شده استکلیدواژه ها
خازن متغیرسه صفحه ای شکل، خازن الکترومکانیکی با تنظیم فاصله هوایی، تکنولوژی CMOSمقالات مرتبط جدید
- بهینه سازی مدیریت انرژی در ریزشبکه ها با استفاده از الگوریتم های هوش مصنوعی
- مبانی، کاربردها و چالشهای یادگیری مشارکتی و تحلیل تجربی و مقایسه ابزارهای یادگیری فدرالی در پیاده سازی مدلهای یادگیری ماشین
- راهکارهای مبتنی بر هوش مصنوعی برای بهره وری انرژی در تولید سیمان: یک بررسی جامع
- معماری اینترنت اشیا مبتنی بر هوش مصنوعی در مدیریت انرژی هوشمند
- سیستم های EMS/BMS در ساختمان های ZEB و نمونههای اجرا شده آن در سطح جهانی
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.