بررسی تاثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری و اپتیکی پوشش نابازتابنده پهن باند SiO۲/TiO۲ ایجاد شده به روش کندوپاش پلاسما
- سال انتشار: 1403
- محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 24، شماره: 2
- کد COI اختصاصی: JR_PSI-24-2_002
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 83
نویسندگان
پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران
پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران
گروه فیزیک دانشگاه اراک
پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران
پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران گروه فیزیک، دانشگاه شهیدبهشتی، تهران
چکیده
دراین مقاله، تاثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری واپتیکی پوششهای نابازتابنده TiO۲ و SiO۲ مطالعه و بررسی شد. لایه های نازک به روش کندوپاش بر روی زیرلایه سیلیکونی لایه نشانی شده و سپس به مدت ۱ ساعت در دماهای مختلف، بازپخت صورت گرفت. با بررسی خواص اپتیکی این نمونه ها مشاهده شد که بعد از بازپخت، بازتاب از سطح در بازه طول موج ۷۵۰-۴۵۰ نانومتر از ۷/۲ به ۲۳/۰ درصد کاهش یافت. ضریب شکست نیز بعد از بازپخت نمونه ها کاهش پیدا کرد. همچنین با بررسی خواص ساختاری نمونه ها، فاز آناتاز برای قبل از انجام عملیات حرارتی و مخلوط آناتاز و روتایل و نیز افزایش شدت قله ها بعد از بازپخت نمونه ها مشاهده شد.کلیدواژه ها
پوشش های پادبازتاب, کندوپاش, عملیات حرارتیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.