A Fuzzy Inference System to Maintain Ultrasonic Cleaning Bath Efficiency for Semiconductor Applications

  • سال انتشار: 1402
  • محل انتشار: بیست و دومین کنفرانس سیستم­ های فازی ایران
  • کد COI اختصاصی: ICFUZZYS22_027
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 132
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

Ali Rezaei

Iran University of Science and Technology, Electrical Engineering School, Tehran, Iran

چکیده

In this paper, fuzzy control concept is adopted to straightforwardly construct acontroller to maintain ultrasonic cleaning bath efficiency. The aforementioned schememakes use of bath turbidity and temperature to maintain the generated power whichis delivered to the ultrasonic generating element. The single output power surfacewas generated by implementing Mamdani fuzzy inference system and the results werediscussed.

کلیدواژه ها

Fuzzy Controller, Ultrasonic Cleaning, Fuzzy Inference System (FIS), Smart Systems, Artificial Intelligence (AI)

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.