تعیین ولتاژ پولین استاتیکی و محدوده ولتاژ کاری به منظور طراحی مناسب میکرو سنسور فشاری خازنی با استفاده از مدل میکرو تیر

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: همایش ملی مهندسی مکانیک
  • کد COI اختصاصی: EASTTEHRANMECH02_019
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1332
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

صابر عزیزی

دانشجوی دکتری، دانشکده مکانیک، دانشگاه تربیت مدرس

یاشار حقیقت فر

دانش آموخته کارشناسی ، دانشگاه صنعتی ارومیه

مهدی محمدی مهر

استادیار گروه طراحی جامدات، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه کاشان

چکیده

در این مقاله، محدوده مناسبی از ولتاژ الکترواستاتیکبه دست آمده است که در طراحی میکرو سنسور فشاری خازنی کار برد دارد.روشبه دست آوردن محدوده ولتاژ مذکور، استفاده از روش گالرکین برای مدل سازی ارتعاشی میکرو تیر وحل معادلات به دست آمده با فرضولتاژاستاتیکی اعمال شده بر صفحه خازنی میکرو سنسورفشار ی خازنیاست. پس از حل عددی معادله به دست آمده ، محدوده ولتاژکاری قابل قبول به دست آمده و برای مقادیر ولتاژ بالاتر پولین استاتیکی رخ خواهد داد. نتایج این تحقیق نشان می دهد که باافزایش فاصله میان دو صفحه خازنی، ارتفاع، عرض و جنس میکروتیر محدوده ولتاژ کاری افزایش یافته، درحالی که با افزایش طول میکروتیر این محدوده به شدت کاهش می یابد.

کلیدواژه ها

میکرو تیر، میکروسنسور فشاری خازنی، ولتاژ پولین استاتیکی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.