DESIGN OF A SAW-BASED SENSOR COMBINED WITH A MICRO-HOTPLATE FORBIOLOGICAL APPLICATIONS
- سال انتشار: 1389
- محل انتشار: هفدهمین کنفرانس مهندسی پزشکی ایران
- کد COI اختصاصی: ICBME17_115
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 1003
نویسندگان
Faculty of Electrical Engineering Sahand University of TechnologySahand New Town, Tabriz, Iran
Faculty of Electrical Engineering Sahand University of Technology Sahand New Town, Tabriz, Iran
چکیده
A SAW-based sensor for chemical and biological application is designed in this paper. An Aluminum nitride piezoelectric layer is used over a bulk micromachined silicon substrate, so the design is compatible with CMOS Process. An additional micro-hotplate is integrated on system for thermal adjustment of sensing layer on required temperature and thermal stabilization of whole sensor. The SAW device with a working frequency of 610 MHz is built over a 21μm membrane. The frequency response and sensing property of the sensor are achieved via finite element analysis. The temperature distribution of the micro-hotplate is demonstrated.کلیدواژه ها
SAW sensor; MEMS; surface acoustic wave; finite element analysis; micro-hotplateمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.