طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲

  • سال انتشار: 1402
  • محل انتشار: اولین همایش ملی نوآوری در مهندسی: راهی به سوی توسعه
  • کد COI اختصاصی: NCIIE01_084
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 186
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

سعیده گودرزی

استادیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی، چالوس

کیخسرو خجیر

دانشیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی، چالوس

معصومه فیروزی

استادیار گروه فیزیک، واحد کاشان، دانشگاه آزاد اسلامی، کاشان

چکیده

حسگرهای اتانول مبتنی بر لابه های نازک (TiO(۲ با استفاده از کندوپاش مغناطیسی RF ساخته شدند. ساختار بلوریدستگاه، ریخت شناسی سطح و عملکرد سنجش گاز با تغییر توان کندوپاش مورد بررسی قرار گرفت، ویژگی های حسگر بااستفاده از پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد مطالعه قرارگرفت. نمونه های ساخته شده در توان های پایین (۱۰۰ و ۲۰۰w) ساختاری چهارضلعی با فاز مخلوط آناتاز و روتایلداشتند در حالی که نمونه ی انباشت شده در توان ۳۰۰w، یک فاز آناتاز را نشان می دادند. نتایج نشان داد که تغییر توانکندوپاش به دلیل تغییر در ساختار بلوری، فاز و ریخت شناسی سطح. تاثیر قابل توجهی بر عملکرد سنجش گاز اتانولدستگاه ها دارد. نمونه ی تولید شده با توان کندوپاش ۲۰۰w حساسیت بیشتری نسبت به نمونه های دیگر و گزارش هاییکه تاکنون ارائه شده است؛ نشان داد.

کلیدواژه ها

لایه نازک، (TiO(۲، توان کندوپاش، حساسیت، قابلیت اطمینان پذیری، اتانول

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.