طراحی، ساخت و مطالعه حسگر بخار بنزن بر پایه لایه های نازک اکسید مس تهیه شده به روش کندوپاش RF
- سال انتشار: 1402
- محل انتشار: اولین همایش ملی نوآوری در مهندسی: راهی به سوی توسعه
- کد COI اختصاصی: NCIIE01_013
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 51
نویسندگان
استادیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلا می، چالوس، ایران
دانشیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی ، چالوس، ایران
استادیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلا می، چالوس، ایران
چکیده
این تحقیق گزارشی از طراحی، ساخت و مطالعه حسگر بخار بنزن بر پایه لایه های نازک اکسید مس می باشد.فازهای مختلف اکسید مس، تنوریت (CuO)، کوپریت (Cu(۲)O) و پاراملاکونیت ((Cu(۴)O(۳) به روش کندوپاش واکنشی RF و با تنظیم توان کندوپاش و گاز واکنشگر رشد داده شدند. نمونه های ساخته شده با فاز CuO وCu(۲)O در دماهای عملیاتی مختلف به بخار بنزن پاسخ نشان دادند؛ در حالی که نمونه با فاز (Cu(۴)O(۳ به گازهدف حساس نبود. نتایج نشان داد که دستگاه مبتنی بر لا یه نازک CuO به دلیل حساسیت، گزینش پذیری وپایداری قابل توجهی که دارد میتواند یک نمونه امیدوارکننده برای تشخیص بخار بنزن باشد.کلیدواژه ها
لایه نازک، (Cu(x)O(y، عملکرد سنجش، بنزنمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.