مفاهیم و اجزای کلیدی در دستگاه های کاشت یونی ؛ گسترده ترین راهبردها و کاربردها
- سال انتشار: 1402
- محل انتشار: بیستمین کنفرانس ملی مهندسی برق ،کامپیوتر و مکانیک
- کد COI اختصاصی: ECME20_042
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 123
نویسندگان
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین(ع)، گرایش میکرو و نانو الکترونیک
دانشیار دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین(ع)
چکیده
در این مقاله به بررسی اصولی دستگاه کاشت یونی پرداخته می شود. کاشت یونی، فرایندی پیچیده و پیشرفته در عرصه فناوری مواد و نیمه رساناها است که از طریق آن یون ها با انرژی بالا به درون یک ماده پاشیده می شوند. این روش به طور گسترده در صنایع الکترونیک، پزشکی و تحقیقات مواد استفاده می شود. مقاله حاضر تلاش دارد تا با بررسی اجزای کلیدی و مکانیزم های عملکردی دستگاه کاشت یونی، درک عمیق تری از این فناوری و کاربردهای آن ارائه دهد.کلیدواژه ها
کاشت یونی, فناوری مواد, نیمه رساناها, صنایع الکترونیکاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.