بررسی ساختار و رفتار تریبولوژیکی پوشش نانوساختار کربن شبه الماس رسوب گذاری شده به روش PACVD و Arc-PVD

  • سال انتشار: 1396
  • محل انتشار: فصلنامه مواد نوین، دوره: 8، شماره: 30
  • کد COI اختصاصی: JR_JNMMI-8-30_007
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 53
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

عیسی کرانیان

استادیار دانشکده علوم پایه، دانشگاه امام علی(ع)، تهران، ایران

رامین نایب زاده

فارغ التحصیل کارشناسی ارشد دانشکده مهندسی شیمی، دانشگاه صنعتی شریف، تهران، ایران

مهدی غلامپور

استادیار دانشکده علوم پایه، دانشگاه امام علی(ع)، تهران، ایران

چکیده

در این پژوهش پوشش نانوساختار DLC (کربن شبه الماسی) با استفاده از روش PACVD (رسوب­گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما) و روش Arc-PVD (رسوب­گذاری فیزیکی از فاز بخار به کمک قوس کاتدی)، روی فولاد St۳۷ پوشش داده شد. سپس در روش Arc-PVD یک لایه میانی قبل از پوشش DLC رسوب­گذاری گردید. مشخصه یابی و ارزیابی پوشش­ها به­وسیله روش های میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش سنجی پرتو ایکس، طیف سنجی رامان، طیف­ سنجی با تفکیک انرژی، آزمون­های چسبندگی و تریبولوژیکی انجام شد. نتایج نشان داد که پوشش DLC PVD به دلیل حضور لایه میانی TiCrAlN، اندازه ذرات ۳۰ تا ۴۰ نانومتر، سختی گرادیانی و همچنین حضور کاربیدهای تیتانیم و کروم درون پوشش، دارای خواص مکانیکی، چسبندگی و سایش عالی است. اندازه دانه­های پوشش DLC PACVD تقریبا در محدوده­ی ۷۰ تا ۱۱۰ نانومتر اندازه­گیری شد. از طرفی ضخامت پوشش در روش Arc-PVD کم­تر از پوشش حاصل از روش PACVD شد که تنش داخلی کم­تر پوشش منتهی به چسبندگی مناسب این پوشش شد. بنابراین پوشش حاصل از روش PACVD علی­رغم خواص مناسب، نسبت به پوشش  DLC PVDسختی و چسبندگی کمتری از خود نشان داد.

کلیدواژه ها

رسوب فیزیکی بخار, رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما, کربن شبه الماس, پوشش نانوسختار و فولاد St۳۷

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.