بررسی و بهینه سازی پرتو تفنگ الکترونی، بر پایه نتایج تجربی و شبیه سازی
- سال انتشار: 1402
- محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 23، شماره: 1
- کد COI اختصاصی: JR_PSI-23-1_013
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 103
نویسندگان
گروه پژوهشی فناوری خلا ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، P.O.BOX:۱۳۴۴۵-۱۶۶۸، تهران
گروه پژوهشی فناوری خلا ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، P.O.BOX:۱۳۴۴۵-۱۶۶۸، تهران
گروه پژوهشی فناوری خلا ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، P.O.BOX:۱۳۴۴۵-۱۶۶۸، تهران
گروه پژوهشی فناوری خلا ، سازمان جهاد دانشگاهی صنعتی شریف، P.O.BOX:۱۳۴۴۵-۱۶۶۸، تهران
گروه علوم پایه، دانشگاه صنعتی بیرجند، بیرجند
چکیده
امروزه با گسترش کاربرد لایه های نازک در صنعت و علوم پزشکی، روش های تولید آنها نیز مورد توجه قرار گرفته است. یکی از آن روش ها، روش تبخیر مواد به کمک تفنگ الکترونی است. مهم ترین بخش در تفنگ الکترونی، اپتیک الکترون است که وظیفه تولید و شتابدهی به الکترون را به عهده دارد؛ به طوری که با اصلاح و کنترل هر چه بهتر ویژگی های پرتو الکترونی (شکل و قطر پرتو) در محل هدف، امکان تبخیر مواد دیرگداز در مدت زمان کوتاه تر ممکن می شود. کاهش و کنترل قطر پرتو در این منبع تبخیر به پارامترهای مختلفی از جمله هندسه دستگاه، شدت میدان مغناطیسی، توان الکتریکی و... وابسته است. از اینرو در این کار پژوهشی با انجام آزمایش های تجربی و استفاده از نرم افزارهای المان محدود و مدل سازی به بررسی اثر آن پارامترها پرداخته شد. نتایج حاصل از شبیه سازی نشان داد که اثر پارامترهای موثر بر قطر پرتو تا حد خوبی قابل پیش بینی است و می توان با تغییر در شکل هندسی، ابعاد و موقعیت اجزای تفنگ الکترونی ، قطر پرتو الکترونی را کاهش داد. در ادامه با اعمال این تغییرات در ساخت دستگاه و انجام آزمایش های تجربی، تفنگ الکترونی جدید در مقایسه با نمونه اولیه موجود، بهینه و قطر پرتو آن با %۴۰ کاهش، متمرکزتر شد.کلیدواژه ها
منبع تبخیر الکترون, پرتو, اپتیک, شبیه سازیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.