Study Of Thermoelastic Damping in an Electrostatically Deflected Circular Micro-Plate Using Hyperbolic Heat Conduction Model

  • سال انتشار: 1390
  • محل انتشار: فصلنامه مکانیک جامد، دوره: 3، شماره: 3
  • کد COI اختصاصی: JR_JSMA-3-3_006
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 195
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

G Rezazadeh

Mechanical Engineering Department, Urmia University

S Tayefeh-rezaei

Mechanical Engineering Department, Urmia University

A Saeedi Vahdat

Photo-Acoustics Research Laboratory, Nanomechanics/Nanomaterials, Department of Mechanical & Aeronautical Engineering, Clarkson University, Potsdam, NY, USA

V Nasirzadeh

Mechanical Engineering Department, Islamic Azad University, Arak Branch

چکیده

Thermoelastic damping (TED) in a circular micro-plate resonator subjected to an electrostatic pressure is studied. The coupled thermo-elastic equations of a capacitive circular micro plate are derived considering hyperbolic heat conduction model and solved by applying Galerkin discretization method. Applying complex-frequency approach to the coupled thermo-elastic equations, TED is obtained for different ambient temperatures. Effects of the geometrical parameters on TED and the critical thickness are investigated. Furthermore, the effect of applied bias DC voltage on TED for an electrostatically deflected micro-plate is also investigated.

کلیدواژه ها

MEMS, Internal damping, Quality Factor, Circular Micro-Plate, Electrostatic actuation

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.