مشخصه یابی پلاسما و بررسی ریخت شناسی لایه های نازک زیرکونیوم رسوب شده توسط کندوپاش مگنترون DC در توان های مختلف
- سال انتشار: 1401
- محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 22، شماره: 3
- کد COI اختصاصی: JR_PSI-22-3_007
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 206
نویسندگان
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
چکیده
خواص الکتریکی لایه های نازک زیرکونیوم با استفاده از تکنیک پروب لنگمایر مورد مطالعه قرار گرفته است. انرژی الکترون، چگالی الکترونی و چگالی یونی نمونه ها در فشار کم و توان متغیر (۶۰ تا ۱۶۰ وات) اندازه گیری شد. نتایج ما نشان می دهد که انرژی الکترون ها با افزایش توان کاهش می یابد، در حالی که چگالی الکترون ها و یون ها افزایش یافته است. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین ضخامت و همچنین ریخت شناسی سطح لایه های نازک زیرکونیوم استفاده شد، که در آن ضخامت با افزایش توان مولد پلاسمای DC افزایش یافت. روش تجزیه و تحلیل طیف سنجی پرتو ایکس پراکنده انرژی (EDX) برای تعیین اطلاعاتی در مورد ترکیب فیلم ها استفاده شد. خصوصیات پلاسما و کیفیت لایه های تولید شده (زبری و ضخامت) به ما اجازه می دهد از این لایه ها در چندین کاربرد بالقوه استفاده کنیم.کلیدواژه ها
لایه های نازک Zn, کندوپاش مگنترون, پروب لنگمایر, ریخت شناسی, SEMاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.