Thermal Radiative Properties of Nanoscale Multilayer Structures

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: دومین کنگره بین المللی علوم و فناوری نانو
  • کد COI اختصاصی: ICNN02_651
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1095
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

a Saboonchi

Department of Mechanical Engineering, Isfahan University of Technology, Isfahan, Iran

a Sedaghat

S.A.A Oloomi

چکیده

Radiative properties of a material are the core of thermal science and optics, which play critical roles in modern technologies, including MEMS/NEMS. The radiative properties, such as reflectance, transmittance, and emittance of multilayer structures largely depend on the direction and wavelength of incident radiation as well as wafer temperature. They are also affected by thin-film coatings and surface roughness[1].The studied examples using silicon wafer and either silicon dioxide or silicon nitride coating demonstrate the strong influence of coating and coating thickness on the radiative properties. This study helps gain a better understanding of the radiative properties of semitransparent wafers with different coatings and will have an impact not only on semiconductor processing but also on thin film solar cells. Fu studied radiative properties of NIMs by using three multilayer structures with NIM layer [1]. We have interested in studying nanoscale radiative properties with silicon because silicon is the most extensively used material in MEMS/NEMS

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.