بررسی اثر ولتاژ بایاس بر مشخصه های ساختاری و مکانیکی لایه نازک کربن شبه الماس اعمال شده توسط فرایند رسوب دهی پرتو یونی
- سال انتشار: 1401
- محل انتشار: فصلنامه علم و مهندسی سرامیک، دوره: 11، شماره: 2
- کد COI اختصاصی: JR_IJCSE-11-2_003
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 147
نویسندگان
Malek ashtar university of technology
Malek ashtar university of technology
Malek ashtar university of technology
, Malek Ashtar University of Technology
چکیده
در این پژوهش اثر ولتاژ بایاس بر تغییرات ساختاری لایه نازک کربن شبه الماس ایجاد شده توسط فرایند رسوبدهی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفته است. برای این منظور، پارامتر ولتاژ بایاس در مقادیر V۰، V۵۰- ، V۱۰۰- و V۱۵۰- روی زیرلایه آلیاژ آلومینیوم AA۵۰۸۳ در نظر گرفته شد. جهت ارزیابی تغییرات ساختاری از طیفسنجی رامان استفاده شد. همچنین جهت تاثیر ولتاژ بایاس بر ضخامت و زبری سطح پوششهای اعمالی، از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) نیز استفاده گردید. سختی و مدول الاستیک توسط آزمون نانوسختیسنجی اندازهگیری شد. نتایج آنالیز رامان نشاندهنده بیشترین میزان پیوندهای sp۳ در لایه نازک کربن شبه الماس در ولتاژ بایاس V۵۰- بود و با افزایش ولتاژ بایاس، مقدار پیوندهای sp۳ کاهش پیدا کرد. نتایج آنالیز AFM گویای کمترین میزان زبری سطح لایه (nm ۱۰) در ولتاژ بایاس V۵۰- بود. با توجه به این که میزان پیوندهای sp۳ در ولتاژ بایاس V۵۰- در حداکثر مقدار خود قرار داشت، سختی در این مقدار ولتاژ بایاس نیز نسبت به ولتاژهای دیگر بالاتر و برابر GPa ۱/۱۴بود.کلیدواژه ها
Diamond Like Carbon, Biase Voltage, ion beam deposition, AA۵۰۸۳ aluminum alloy., کربن شبه الماس, ولتاژ بایاس, رسوب دهی پرتو یونی, آلیاژ آلومینیوم AA۵۰۸۳اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.