علی شانقی - دانشیار، مهندسی مواد،دانشگاه ملایر،دانشکده فنی و مهندسی، گروه مهندسی مواد
هانیه شهریاری - دانشجوی کارشناسی، مهندسی مواد، دانشگاه ملایر، دانشکده فنی و مهندسی، گروه مهندسی مواد
امیر احمدرضا علی - دانشجوی کارشناسی، مهندسی مواد، دانشگاه ملایر، دانشکده فنی و مهندسی، گروه مهندسی مواد
فرشاد سلیمانی - استادیار، مهندسی مواد، دانشگاه ملایر، دانشکده فنی و مهندسی، گروه مهندسی مواد
علیرضا سوری - استادیار، مهندسی مواد، دانشگاه ملایر،دانشکده فنی و مهندسی، گروه مهندسی مواد

پوششهایDLC به دلیل خواص مکانیکی عالی همانند سختی بالا، اصطکاک کم و مقاومت در برابر سایش دارای کاربرد بسیار وسیعی در صنایع مخصوصا صنایع پزشکی و زیست پزشکی دارد . روشهایی مختلفی همانند رسوب دهی فیزیکی از فاز بخار و رسوبدهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما جهت اعمال پوشش نانوساختار DLC مورد استفاده قرار میگیرد. در این مقاله پوشش DLC با استفاده از فرایندرسوب دهی فیزیکی از فاز بخار و گازهای آرگون، متان و هیدروژن با مجموع دبی محفظه ۱۰۰ سی سی بر دقیقه بر سطح آلیاژ تیتانیوم اعمال شده است. ابتدا گاز آرگون از دمای محیط تا دمای ۲۰۰ درجه سانتیگراد به مدت ۴۰ دقیقه جهت اچ کردن پلاسمایی در ولتاژ ۵۰۰ ولت استفاده شده و سپس در دمای ۲۰۰ درجه سانتیگراد گازهای هیدروژن و متان را وارد نموده، در ادامه پوشش دهی در ولتاژ ۴۰۰ ولت و به مدت ۱۲۰ دقیقه بر روی سطح آلیاژ تیتانیوم اعمال شده است. سپس رفتار ساختاری، فازی و خواص مکانیکی پوشش به ترتیب با استفاده از FESEM، GIXRD و FT-IR مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان دهنده تشکیل پوشش همگن، یکنواخت و نانوساختار با ضخامت نانومتری مناسب برای کابردهای پزشکی به عنوان ایمپلنت است.

پوشش DLC، فرایندهای پلاسمایی، خواص نانو مکانیکی، آلیاژ تیتانیوم