متراکم سازی لایه نازک TEOS حاصل از سل - ژل بر روی آلومینیوم به کمک پلاسما

  • سال انتشار: 1401
  • محل انتشار: سومین کنفرانس ملی تجهیزات و فناوری های آزمایشگاهی
  • کد COI اختصاصی: IMTC03_059
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 243
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

جعفر برهانیان

گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه محقق اردبیلی، صندوق پستی ۱۷۹ ، اردبیل

داود سیف زاده

گروه شیمی، دانشکده علوم، دانشگاه محقق اردبیلی، صندوق پستی ۱۷۹ ، اردبیل

چکیده

هدف پژوهش حا ضر امکان سنجی جایگزینی متراکم سازی در دمای بالا با متراکم سازی از طریق پلا سما در فرایند پو شش دهی سل-ژل می با شد. پیش ماده TEOS به محیط ا سیدی ا ضافه شده و هیدرولیز صورت میگیرد. پس از هیدرولیز با گذ شت زمان محلول فوق به صورت سل و با گذشت زمان بیشتر به ژل تبدیل خواهد شد. لایهای از ژل بوجود آمده با استفاده از روش پو شش دهی غوطه وری بر روی فلز آلومینیوم ن شانده می شود. سپس این لایه در معرض پلا سمای تابناک قرار داده شده تا عمل متراکم سازی انجام گیرد. برای مطالعه مورفولوژی سطح از تحلیل SEM ا ستفاده شده ا ست. تاثیر پارامترهای مختلف پلا سما از جمله فشار و مدت زمان قرار گیری نمونه در معرض پلاسما بر روی متراکم سازی لایه مطالعه می شود.

کلیدواژه ها

سل - ژل، تخلیه سد الکتریکی، تترااتوکسی سیلان، آلومینیوم

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.