سامانه خودکانونی با استفاده از هد دستگاه DVDبرای لیتوگرافی لیزری
- سال انتشار: 1391
- محل انتشار: بیستمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE20_311
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1409
نویسندگان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر مجتمع دانشگاهی برق و الکترونیک،
چکیده
هد دستگاه های ذخیره ساز اطلاعات نوری ) - CD ، DVD و Blue Ray ( برای حفظ اتوماتیک فاصله کانونی لیزر تا دیسک از روش آستیگماتیسم برای خودکانونی بهره می گیرند. در این مقاله، با استخراج مشخصه های هد نوری، آشکارساز و محرک های الکترومغناطیسی دستگاه DVD ، زیرسامانه خود کانونی با دقت میکرومتری طراحی و ساخته شده است که می تواند به عنوان یک سنسور نوری دقیق جهت نگهداری زیرلایه در ارتفاع مناسب از لیزر در دستگاه لیتوگرافی مستقیم لیزری بکار رود. لیتوگرافی مستقیم لیزری کاربرد فراوانی در ساخت قطعات میکروالکترونیک، میکروفوتونیک و MEMS دارد و بوسیله آن می توان لیتوگرافی این قطعات را در ابعاد میکرون و حتی زیر میکرون انجام داد. این سامانه از لیزری با طول موج 650 نانومتر و توان 1/2میلی وات استفاده می کند و لکه ای با قطر 900 نانومتر را بر روی زیرلایه ایجاد می نماید.کلیدواژه ها
آستیگماتیسم، آشکارساز چهارتایی، دستگاه - DVD ، سامانه خودکانونی، سنسور نوریمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.