طرحی جدید از شتاب سنج خازنی با تکنولوژی میکروماشین و با دو درجه آزادی

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: بیستمین کنفرانس مهندسی برق ایران
  • کد COI اختصاصی: ICEE20_272
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1027
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

فاطمه زارعیان

مرکز تحقیقات میکروالکترونیک دانشگاه ارومیه

ابراهیم عباسپورثانی

نیکو قاسمی

چکیده

یک شتابسنج خازنی با ساختاری نوین و با دو درجه آزادی طراحی و شبیه سازی شده است. ساختار شتابسنج به گونه ای است که شتاب های وارد شده به سیستم در جهات z و xبا روابط ریاضی ساده قابل تفکیک و اندازه گیری می باشند. این در حالی است که شتاب اعمال شده در جهتy هیچگونه اثر ناخواسته ای در اندازه گیریهای شتابهای جهات z و x ندارد. این شتابسنج برای اندازه گیری شتاب های تا2g با رزولوشنmg طراحی شده است. نتایج شبیه سازی این ادعا را تایید می کند. ابعاد کلی این ساختار mm2× 2mm × 7μm می باشد.

کلیدواژه ها

شتابسنج خازنی، رزولوشنcross axis sensitivity، mg

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.