طراحی و شبیه سازی مدار قرائت خازنهای کوچک در سنسورهای خازنی MEMS
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE19_366
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2205
نویسندگان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشگاه زنجان
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
در این مقاله، مدار مناسب جهت خواندن خازنهای کوچک در سنسورهای خازنی MEMS طراحی و شبیه سازی شده است. جهت کاهش نویز و آفست از ترکیب دو مدارCHS و CDS استفاده شده که در آشکار سازی تغییرات بسیار کوچک خازن در حد چند فمتو فاراد و یا کمتر در سنسور خازنی MEMSبهترین نتیجه را داشتهاند. در شبیه سازیهای انجام شده، روشCHSدر مدارهای پیوسته زمان و روشهایCDS و ترکیبی درمدارهای سوئیچ خازنی به کار گرفته شدهاند. سیگنال ورودی مدارCDSو ترکیبی، یک سیگنالdcبرابر ولتاژ تغذیه ولی در مدارCHS سینوسی می-باشد. فرکانسCHSبرابرMHz1و فرکانس نمونه برداری در مدارCDSدو برابر فرکانسCHSیعنیMHz2است. شبیه سازیهای انجام شده با نرم افزارHSPICEنشان میدهند که روشCDSو ترکیبی نسبت به روشCHS نتایج بهتری دارند. توان مصرفی مدار ترکیبی برابر 553 میکرو وات می باشد. با توجه به شبیه سازیها، میزان تغییرات کمتر از 100 اتو فاراد تا حداکثر 600 پیکو فاراد توسط دو مدارCDS و ترکیبی به خوبی قابل اندازهگیری است.کلیدواژه ها
مدار خواندن خازنCHS ،CDS سنسورهای خازنیMEMSمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.