طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی مستقیم لیزری با دقت 1 میکرومتر
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
- کد COI اختصاصی: ICEE19_222
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1432
نویسندگان
مجتمع برق و الکترونیک دانشگاه صنعتی مالک اشتر
چکیده
یک سامانه لیتوگرافی لیزری برای تولید ماسک با دقت 1 میکرون طراحی و ساخته شده است درساخت سکوی X-Y ازحسگر جابجایی تداخل سنج مایکلسون با دقت 158/2nm بعنوان فیدبک جابجایی استفاده شده است درسیستم خودکانون از روش مبتنی برروش آستیگماتیسم استفاده شده است حساسیت سیستم خودکانون ساخته شده حدود20 mV/μm می باشد سرعت لیتوگرافی سامانه حدود 1/47mm/min و حداکثر ابعاد لیتوگرافی 2×2cm2 است سکوی سامانه قادر است تاجابجایی های ناخواسته ناشی از ضربه و نوسانات محیطی را بخوبی جبران واصلاح نماید پهنای خط متوسط سامانه 1mm با غیریکنواختی کمتر از 14% است.کلیدواژه ها
تداخل سنج مایکلسون، سکوی جابجاگر، سیستم خودکانون، لیتوگرافی لیزریمقالات مرتبط جدید
- بررسی نقش فضای مجازی و متاورس در کاهش شکاف بین انتظارات فرد(به عنوان ارباب رجوع) و سازمان های دولتی شهر اصفهان
- طراحی کنترل کننده لغزشی بهینه به منظور ردیابی مسیر (کنترل خودران) برای یک ربات چرخدار متحرک (بابکت)
- طراحی کنترل کننده لغزشی بهینه به منظور ردیابی مسیر و بهبود مصرف انرژی برای یک ربات چرخدار متحرک
- بهبود استقرار نقاط دسترسی وای فای در بارسپاری داده سلولی با استفاده از یک مدل گریدی
- مروری بر راهکارهای استقرار کنترل کننده ها در شبکه های نرم افزار محور بی سیم
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.