Investigation of the Annealing Effect on Roughening of ITO Thin Films Surfaces

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی عملیات حرارتی مواد
  • کد COI اختصاصی: ICMH03_058
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1920
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

D. Raoufi

Assistant Professor, Physics Department, Bu-Ali Sina University, Hamedan,Iran

Z. Kalali

M. Sc, Physics Department, Bu-Ali Sina University, Hamedan,Iran

چکیده

Thin films of Indium tin oxide (ITO) were deposited on glass substrates at room temperature (RT) by electron beam evaporation and then annealed in air at different temperatures for an hour. The thin film structure and surface roughening were investigated by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM) techniques. The evolution of surface structure of the thin films during the deposition and annealing was investigated by mathematical methods. Fractal dimensions of the ITO thin films surfaces as a function of annealing temperatures were determined using box counting method. The results indicated that the surface roughening of the ITO thin films occurs during annealing process

کلیدواژه ها

ITO, Thin film, Fractal dimension

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.