The Influence of Heat Treatment on the Structural and Morphological Properties of ITO Thin Films

  • سال انتشار: 1391
  • محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی عملیات حرارتی مواد
  • کد COI اختصاصی: ICMH03_057
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 1633
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

D. Raoufi

Assistant Professor, Physics Department, Bu-Ali Sina University, Hamedan,Iran

Z. Kalali

M. Sc, Physics Department, Bu-Ali Sina University, Hamedan,Iran

چکیده

Indium tin oxide (ITO) thin films with composition of 10 wt% SnO2 and 90 wt% In2O3, and impurities balanced on glass substrates at room temperature were prepared by electron beam evaporation method and then was heated in air atmosphere at temperature 200 oC for 1 h. The influence of heat treatment on the structural and morphological properties of the films was studied. The film structure and surface morphologies were investigated by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM). XRD patterns showed that heat treatment caused the crystallinity of thin films. Also, the structural studies by XRD reveal that the films exhibit preferential orientation along (2 2 2) plane. AFM results reveal that the heat treatment leads to an increase of surface roughness. This behavior is due to the aggregation of the native grains into the larger clusters upon heating. This different cluster size influences the surface morphology of the films

کلیدواژه ها

ITO, Thin film, Heat treatment

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.