The Influence of Heat Treatment on the Structural and Morphological Properties of ITO Thin Films
- سال انتشار: 1391
- محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی عملیات حرارتی مواد
- کد COI اختصاصی: ICMH03_057
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 1633
نویسندگان
Assistant Professor, Physics Department, Bu-Ali Sina University, Hamedan,Iran
M. Sc, Physics Department, Bu-Ali Sina University, Hamedan,Iran
چکیده
Indium tin oxide (ITO) thin films with composition of 10 wt% SnO2 and 90 wt% In2O3, and impurities balanced on glass substrates at room temperature were prepared by electron beam evaporation method and then was heated in air atmosphere at temperature 200 oC for 1 h. The influence of heat treatment on the structural and morphological properties of the films was studied. The film structure and surface morphologies were investigated by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM). XRD patterns showed that heat treatment caused the crystallinity of thin films. Also, the structural studies by XRD reveal that the films exhibit preferential orientation along (2 2 2) plane. AFM results reveal that the heat treatment leads to an increase of surface roughness. This behavior is due to the aggregation of the native grains into the larger clusters upon heating. This different cluster size influences the surface morphology of the filmsکلیدواژه ها
ITO, Thin film, Heat treatmentمقالات مرتبط جدید
- توسعه آلیاژ چهارتایی پایه روی و بررسی ریزساختار در حالت های مختلف میکروسکوپ الکترونی روبشی ( SE و BSE)
- اصول نرم شدن در مواد تغییر شکل یافته به کمک عملیات اولتراسونیک
- ۳D Flow Simulation Inside a Desuperheater
- چرخه عمر فعالیت های اکتشافی و بهره برداری معدن سرب و روی انگوران زنجان با استفاده از روش بیزین
- The effect of welding current on dilution and geometry of coated High Entropy on Ductile Cast Iron substrate
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.