Effect of Substrate Temperature on Roughness, Thickness and Optical Properties of ZnS Thin Films
- سال انتشار: 1391
- محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی عملیات حرارتی مواد
- کد COI اختصاصی: ICMH03_052
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 1937
نویسندگان
student
professor of physics, Material and Energy Research Center (MERC
assistant professor, Material and Energy Research Center (MERC)
چکیده
ZnS thin films were deposited on Crown glass substrates by electron beam vapor deposition technique. Thickness, roughness and optical properties of the films were investigated as a function of the substrate temperatures. The grain size of the films deposited at 150°C was bigger as compared to the films at other temperatures. Temperature increment from 20°C to 150°C, resulted in RMS roughness increment from 1.1nm to 11.57nm. Ellipsometry analyses reveal higher temperature increases the thickness and roughness of the layers. Form these observations it is concluded that the refractive index of ZnS thin film was lower than those for bulk ZnSکلیدواژه ها
Spectroscopic Ellipsometry (SE), Atomic Force Microscopy (AFM), electron beam vapor deposition technique, surface roughnessمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.