Effects of Plasma Discharge Parameters on the Nano-Particles Formation in the PECVD Reactor
سال انتشار: 1396
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 107
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_CHAL-5-2_007
تاریخ نمایه سازی: 1 مرداد 1401
چکیده مقاله:
In this paper, the effects of plasma discharge parameters on the nano particles formation process in a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) reactor using a model based on equations of ionization kinetics for different active species are studied. A radio frequency applied electric field causes ionization inside the reactor and consequently different reaction schemically active species are formed. The reactions leading to production of nano-particles include negative and positive ion, neutrals and radicals. The dependency of the background gas temperature, frequency and amplitude of applied electric field as the main plasma discharge parameters on the avalanche time constant, nano-particles formation and their growth rate is verified. Silane and hydrogen gases are considered as background species. It was observed that the growth rate at higher frequencies and lower temperatures is higher. It was seen that increase in the applied voltage peak amplitude affects charged and radical particles fairly similar to the applied voltage frequency.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Zahra Dehghani Fard
Photonics Research Institute, Institute of Science, High Technology &Environmental Sciences, Graduate University of Advanced Technology, Kerman, Iran
Alireza Ganjovi
Photonics Research Institute, Institute of Science, High Technology &Environmental Sciences, Graduate University of Advanced Technology, Kerman, Iran
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :