کاربرد سیستم های میکروالکترومکانیکی در سیستم های مختلف الکترونیکی

  • سال انتشار: 1401
  • محل انتشار: ششمین کنفرانس ملی مهندسی برق و سیستم های هوشمند
  • کد COI اختصاصی: NEEC06_040
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 387
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

محمدجواد براتی

دانشجوی دکتری دانشکده مهندسی برق- واحد نجف آباد، دانشگاه آزاد اسلامی، نجف آباد، ایران

پیام سنائی

استادیار،مرکز تحقیقات پردازش دیجیتال و بینایی ماشین- واحد نجف آباد، دانشگاه آزاد اسلامی، نجف آباد، ایران

سیدمحمدعلی زنجانی

استادیار،مرکز تحقیقات ریزشبکه های هوشمند- واحد نجف آباد، دانشگاه آزاد اسلامی، نجف آباد، ایران

چکیده

فناوری MEMS۱ یا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرکها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است . در واقع MEMS ، یا سیستم های میکرو الکترومکانیکی تلفیقی از اجزای مکانیکی ، حسگر ها ، بازو های مکانیکی و اجرای الکترونیکی هستند که بر روی لایه ای از ماده استراتژیک « سیلیکون » قرار دارند.این ساختار مکانیکی بسیار کوچک در ابعاد « میکرون » بر پایه تکنولوژی « تراشه های الکترونیکی » استوار است.فناوری MEMS یا فناوری سیستم های میکروالکترومکانیکی ، در صنایع مختلف و اثرگذار جهان از جمله صنایع خودروسازی ، موشکی و نظامی کاربرد بسیار زیادی دارند. با پیشرفت تکنولوژی، امروزه نیاز به داشتن لوازم اندازه گیری دقیق تر در صنعت خودروسازی، پزشکی، کشاورزی، هوافضا و سایر علوم بیش از پیش احساس میگردد. در همین راستا، پیشرفت در فناوری ساخت ریز تراشه ها IC۲ ها سبب ظهور تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) با دقت کارکردی بالا و ایجاد امکان ساخت دستهای از ساختارها، دیوایس ها و سیستم های مکانیکی در ابعاد میکرون و بکارگیری در حوزه های کاربردی شامل شتاب سنج ها، سنسورهای فشار، ژیروسکوپ، میکرواپتیک و ...گردیده و این امکان را برای تحول در زندگی انسان فراهم ساخته است. با توجه به اینکه استفاده از سنسورهای مختلف در خودرو عملکرد و کیفیت خودرو را افزایش می دهد، کاهش اندازه سنسورها همیشه بصورت یک چالش بوده که با پیشرفت تکنولوژی به این چالش رسیدگی شده و توسط سیستم های یکپارچه MEMS یا فناوری سیستم های میکروالکترو مکانیکی به ابداع حسگرهای ریزمقیاس با دقت بالاتر در اندازه کوچکتر و قیمت ارزان تر دست یافته.

کلیدواژه ها

حسگرهای اینرسی میکروالکترومکانیکی ، میکروشتاب سنج، سیستم های میکروالکترومکانیکی، سنسور فشار، سنسور شتاب

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.