Studying of various nanolithography methods by using Scanning Probe Microscope
محل انتشار: مجله بین المللی ابعاد نانو، دوره: 1، شماره: 3
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 148
فایل این مقاله در 17 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJND-1-3_001
تاریخ نمایه سازی: 22 خرداد 1401
چکیده مقاله:
The Scanning Probe Microscopes (SPMs) based lithographic techniques have been demonstrated as an extremely capable patterning tool. Manipulating surfaces, creating atomic assembly, fabricating chemical patterns, imaging topography and characterizing various mechanical properties of materials in nanometer regime are enabled by this technique. In this paper, a qualified overview of diverse lithographical methods mostly based on making nano-structures is presented.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
S. Sadegh Hassani
Nanotechnology research center, Research institute of petroleum industry (RIPI), Tehran, Iran.
Z. Sobat
Nanotechnology research center, Research institute of petroleum industry (RIPI), Tehran, Iran.