بررسی تجربی پارامترهای الکتریکی تخلیه تابان CCRF فشار اتمسفری در فرکانس 13/56 مگاهرتز

  • سال انتشار: 1390
  • محل انتشار: اولین کنفرانس ملی تخلیه های الکتریکی، پلاسما و مهندسی پلاسما
  • کد COI اختصاصی: PLASMA01_024
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1657
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

فرشاد صحبت زاده

گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی

هدی مهدوی

گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی

زهرا امیدی

گروه فیزیک اتمی و مولکولی-ازمایشگاه تحقیقاتی لیزر و پلاسما- گروه فیزی

چکیده

در این مقاله به تولید و بررسی مشخصات الکتریکی پلاسمای سرد اتمسفری آرگون در فرکانس رادیدیی 13/56 مگاهرتز و با استفاده از روش تخلیه سد دی الکتریک پرداختیم . پارامترهای الکتریکی همچون ولتاژ کل ، جریان کل و اختلاف فاز موج ولتاژ و جریان اندازه گیری شدند . همچنین با استفاده از یک مدار الکتریکی معادل ، جریان ، اختلاف فاز ، امپدانس ، راکتانس و مقاومت تخلیه و نیز ظرفیت غلاف بار-فضا در نزدیکی الکترودها را در توانهای مختلف محاسبه کردیم.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.