ناشر تخصصی کنفرانس های ایران

لطفا کمی صبر نمایید

Publisher of Iranian Journals and Conference Proceedings

Please waite ..
ناشر تخصصی کنفرانسهای ایران
ورود |عضویت رایگان |راهنمای سایت |عضویت کتابخانه ها
عنوان
مقاله

بررسی نانوساختار لایه هاینازک نیترید مولیبدن بصورت تابعی از دمای بازپخت برروی زیرلایه ی سیلیکون

سال انتشار: 1390
کد COI مقاله: NCNN01_382
زبان مقاله: فارسیمشاهده این مقاله: 784
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

خرید و دانلود فایل مقاله

با استفاده از پرداخت اینترنتی بسیار سریع و ساده می توانید اصل این مقاله را که دارای 6 صفحه است به صورت فایل PDF در اختیار داشته باشید.
آدرس ایمیل خود را در کادر زیر وارد نمایید:

مشخصات نویسندگان مقاله بررسی نانوساختار لایه هاینازک نیترید مولیبدن بصورت تابعی از دمای بازپخت برروی زیرلایه ی سیلیکون

فاطمه حقایقی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج دانشکده علوم گروه فیزیک
علیرضا هژبری
کیخسرو خجیر

چکیده مقاله:

ابتدا لایه های نازک مولیبدن با استفاده از روش اسپاترینگ مغناطیسی DC برروی زیرلایه های سیلیکون و کوارتز به وسیله هدف مولیبدن با خلوص 99/9% تهیه گردید که ضخامت لایه تهیه شده درحدود 190/3 نانومتر اندازه گیری شد سپس لایه های مولیبدن را درداخل کوره بازپخت درمعرض گاز نیتروژن دردماهای 400 و 550 و 700 و 850 درجه سانتیگرادبا شیب حرارتی 5C/min نیترید کردیم آنالیزهای F.P.P AFM <XRD برروی نمونه ها صورت گرفت از آنالیز Xrd برای شناسایی فازها و جهت ترجیحی لایه ها استفاده گردید مورفولوژِ سطح لایه های نیترید مولیبدن نیز با استفاده ازآنالیز AFM بررسی و مشخص گردید که با افزایش دمای بازپخت لایه ها زبری سطح نیز افزایش می یابد مقاومت سطحی لایه ها نیز به وسیله F.P.P اندازه گیری و مشاهده شد که با افزایش دمای بازپخت مقاومت سطحی و مقاومت ویژه ی لایه های نازک نیترید مولیبدن کاهش می یابد که نشان دهنده رسانایی الکتریکی بهتر لایه ها می باشد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک، اسپاترینگ مغناطیسیDC مولیبدن، نیترید مولیبدن

کد مقاله/لینک ثابت به این مقاله

کد یکتای اختصاصی (COI) این مقاله در پایگاه سیویلیکا NCNN01_382 میباشد و برای لینک دهی به این مقاله می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است و به عنوان سند ثبت مقاله در مرجع سیویلیکا مورد استفاده قرار میگیرد:

https://civilica.com/doc/143401/

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:
حقایقی، فاطمه و هژبری، علیرضا و خجیر، کیخسرو،1390،بررسی نانوساختار لایه هاینازک نیترید مولیبدن بصورت تابعی از دمای بازپخت برروی زیرلایه ی سیلیکون،اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی،شاهرود،https://civilica.com/doc/143401

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1390، حقایقی، فاطمه؛ علیرضا هژبری و کیخسرو خجیر)
برای بار دوم به بعد: (1390، حقایقی؛ هژبری و خجیر)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

  • Yimin Wang , Ray.Y _ Lin _ _ Amorphous molybdenum ...
  • V.P.Anitha , S.Major , D. C h andrashekharam , M.Bhatnagar ...
  • Y.G.Shen , "Effect of deposition condition on mechanical stresses and ...
  • L. Cunha , L. Rebouta , F. Vaz , M. ...
  • H .Savaloni _ M _ Motmaen-Dagar _ M.Ghoraannevis _ M. ...
  • Sh.Song , Y.L .Dail Mao , H.L.Ming Li , " ...
  • مدیریت اطلاعات پژوهشی

    صدور گواهی نمایه سازی | گزارش اشکال مقاله | من نویسنده این مقاله هستم

    اطلاعات استنادی این مقاله را به نرم افزارهای مدیریت اطلاعات علمی و استنادی ارسال نمایید و در تحقیقات خود از آن استفاده نمایید.

    علم سنجی و رتبه بندی مقاله

    مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:
    نوع مرکز: دانشگاه آزاد
    تعداد مقالات: 7,898
    در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

    به اشتراک گذاری این صفحه

    اطلاعات بیشتر درباره COI

    COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

    کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.

    پشتیبانی