رشد نانوساختارهای اکسید روی با استفاده از کاتالیست تیتانیوم

  • سال انتشار: 1390
  • محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
  • کد COI اختصاصی: NCNN01_315
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1001
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

حوریه زارعی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات دانشکده فیزیک پلاسما تهران

یوسف سیدجلیلی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات دانشکده فیزیک پلاسما تهران

هادی زهرابی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرمانشاه

چکیده

لایه های تیتانیوم برروی ویفر سیلیکون با ضخامتهای 100، 200 و 400 نانومتر لایه نشانی شده اند سپس نانوساختار های اکسید روی به روش لایه نشانی بخار شیمیایی CVD برروی زیرلایه های تهیه شده رشد داده شده اند ساختار کریستالی آنها توسط آنالیز طیف پراش اشعه XRD) X بررسی می شود آنالیز XRD برتشکیل نانوساختارهای اکسید روی برروی نمونه هایی که ازکاتالیست تیتانیوم استفادهشده دلالت دارد تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM تشکیل نانوساختارهای اکسید روی را نشان میدهد

کلیدواژه ها

کاتالیست تیتانیوم، نانوساختار، اکسید روی، لایه نشانی بخار شیمیایی

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.