تاثیر دمای بازپخت برروی خواص ساختاری و مورفولوژی سطح لایه های مس انباشتی برروی زیرلایه ی سیلیکانی به روش کندوپاش مغناطیسی DC
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
- کد COI اختصاصی: NCNN01_187
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1062
نویسندگان
دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج گروه فیزیک
چکیده
دراین پژوهش ابتدا لایه های نازک مس به روش کندوپاش مغناطیسی Dc برروی زیرلایه سیلیکانی انباشت شده و سپس درکوره های الکتریکی درمجاورت هوا تحت دماهای مختلف بازپخت شدند لایه های نازک بدست آمده با استفاده از آنالیز های پراش پرتوایکس و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرارگرفته و فازهای CuO .Cu و Cu2O شناسایی شدند همچنین نتایج آنالیزهای فوق نشان میدهد که دمای بازپخت تاثیربسزایی در ساختار و مورفولوژی سطح لایه های فوق داردکلیدواژه ها
لایه نازک، دمای بازپخت، کندوپاش مغناطیسی DC، خواص ساختاری، مورفولوژی سطحاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.