لیتوگرافی اتمی با بهره گیری از تکنولوژی نانو
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
- کد COI اختصاصی: NCNN01_075
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1490
نویسندگان
دانشگاه علم و صنعت ایران دانشکده برق
دانشگاه آزاد اسلامی واحد قزوین
چکیده
اساسی ترین قدم در ساخت و توسعه ادوات نیمه هادی فرایندلیتوگرافی است رشد تکنولوژی درهمه تجهیزات الکترونیکی نظیر مدارات مجتمع ادوات اپتوالکترونیک صفحه نمایشهای مسطح و همه بسته های الکترونیکی همگی بستگی به تکنولوژی لیتوگرافی دارد اهمیت فرایندلیتوگرافی درساخت مدارات مجتمع تا حدی است که درحدود یک سوم هزینه ادوات الکترونیکی را به خود اختصاص داده است لذا رشدو توسعه تکنولوژی لیتوگرافی و سیستمهای وابسته به ان درزمینه پیشرفت صنیاع الکترونیکی از جایگاه ویژه ای برخوردار است مهمترین پارامتر درصنعتلیتوگرافی میزان دقت و قابلیت تفکیک یا قدرت تفکیک میب اشد امروزه هدف محققان آنست که بتوان این میزان را به ابعاد زیر100 نانومتر و حتی در محدوده های چندنانومتر رساند دراین مقاله با استفادها ز فناوری و علم نانو لیتوگرافی اتمی برای رسیدنبه هدف مذکور مورد مطالعه و بررسی قرارگرفته است.کلیدواژه ها
نانوالکترونیک، نیمه هادی، لیتوگرافی اتمیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.