ساخت نانوسیلیکان متخلخل با تخلخلهای مختلف وبکارگیری آن به عنوان سنسور گاز N2
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
- کد COI اختصاصی: NCNN01_069
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 943
نویسندگان
دانشگاه تربیت معلم تهران گروه فیزیک
چکیده
دراین کار نمونه هایی از ویفر سیلیکان نوع P به روش آنودی سازی الکتروشیمیایی درالکترولیت شامل DMF و اسید HF و همچنین اتانول C2H5OH) و اسید HF متخلخل گردید تاثیر پارامترهایی همچون زمان آندی سازی چگالی جریان و غلظت الکترولیت برساختار تخلخل بررسی شده و تصویر sEM سیلیکان متخلخل نانو و میکروساختار آورده شده است همچنین رفتار الکتریکی لایه های سیلیکان متخلخل نانو و میکروساختار درحضور گاز N2 بررسی شده و می توان از آن به عنوان حسگر گازی استفاده کردکلیدواژه ها
ویفر،SEM ، DMFاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.