ساخت نانوسیلیکان متخلخل با تخلخلهای مختلف وبکارگیری آن به عنوان سنسور گاز N2

  • سال انتشار: 1390
  • محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
  • کد COI اختصاصی: NCNN01_069
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 943
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

معصومه مقدسی

دانشگاه تربیت معلم تهران گروه فیزیک

محمداسماعیل عظیم عراقی

چکیده

دراین کار نمونه هایی از ویفر سیلیکان نوع P به روش آنودی سازی الکتروشیمیایی درالکترولیت شامل DMF و اسید HF و همچنین اتانول C2H5OH) و اسید HF متخلخل گردید تاثیر پارامترهایی همچون زمان آندی سازی چگالی جریان و غلظت الکترولیت برساختار تخلخل بررسی شده و تصویر sEM سیلیکان متخلخل نانو و میکروساختار آورده شده است همچنین رفتار الکتریکی لایه های سیلیکان متخلخل نانو و میکروساختار درحضور گاز N2 بررسی شده و می توان از آن به عنوان حسگر گازی استفاده کرد

کلیدواژه ها

ویفر،SEM ، DMF

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.