تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: فرآیندهای نوین در مهندسی مواد، دوره: 9، شماره: 3
- کد COI اختصاصی: JR_MAIA-9-3_008
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 170
نویسندگان
محقق/دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشیار/دانشگاه صنعتی مالک اشتر
استادیار/دانشگاه هوایی شهید ستاری
چکیده
با توسعه ریزفناوری میکروماشینکاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کردهاند. یکنواختی توزیع دما یکی از عوامل تاثیرگذار در افزایش حساسیت و دقت یک حسگر گازی است که در آن هیتر استفاده شده است. در این مقاله روش قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دیالکتریک به منظور بهبود یکنواختی گرما در میکروهیتر، مورد بررسی قرار گرفته است. دو میکروهیتر پلاتینی با ساختار غشای معلق بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشینکاری حجمی طراحی، ساخته و مشخصهیابی شدهاند. در میکروهیتر اول از لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm۱۰ در زیر غشای دیالکتریک استفاده شده است در حالیکه میکروهیتر دوم بدون این لایه ساخته شده است. نتایج شبیهسازی نشان میدهد که با قرار دادن لایه نازک سیلیکون، یکنواختی توزیع دما و استحکام مکانیکی بهبود مییابد درحالیکه توان مصرفی و پاسخ زمانی افزایش مییابد. همچنین نتایج تجربی به نتایج حاصل از شبیهسازی بسیار نزدیک است و نشان میدهد که میکروهیتر با لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm۱۰ برای رسیدن به دمای oC۵۰۰ دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW۵۰ و ms۲۳/۴ بهترتیب میباشد ولی میکروهیتر ساخته شده بدون این لایه، برای رسیدن به این دما دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW۱۳ و ms۴/۲ است.کلیدواژه ها
توزیع دمای یکنواخت, غشای معلق شده, میکروهیتر, میکروحسگر, MEMSاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.