تاثیر اتمسفر فرآیند پخت روی خواص الکتریکی و نوری لایه نازک نانو ساختار اکسید روی دارای آلایش آلومینیوم و تیتانیم
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: فصلنامه علوم و مهندسی سطح ایران، دوره: 12، شماره: 30
- کد COI اختصاصی: JR_IJSSE-12-30_003
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 346
نویسندگان
دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه صنعتی مالک اشتر
دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه سمنان
دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه سمنان
دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه سمنان
چکیده
در این تحقیق لایه نازک نانو ساختار اکسید روی دارای آلایش آلومینیوم و تیتانیم (ATZO) به روش سل ژل تهیه گردید. آنالیز فازی توسط تکنیک پراش پرتو ایکس (XRD)، مشاهدات ریز ساختاری و آنالیز عنصری توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FE-SEM) و ابزار طیف سنج تفکیک انرژی (EDX) انجام شده و زبری سطح با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) مورد بررسی قرار گرفت. نتایج XRD نشان داد که حضور اتمسفر احیایی باعث بهبود بلورینگی لایه نازک ATZO می گردد. همچنین مشخص شد که استفاده از اتمسفر احیایی موجب افزایش متوسط عبور نور از % ۳۹/۸۶ به % ۴۱/۸۸ و کاهش چشمگیر میزان مقاومت ویژه الکتریکی ازΩcm ۱۰۶ × ۱۳ تا Ωcm ۱۰۶ × ۰۰۶/۰ گردیده است. اندازه دانه لایه های نازک مختلف در محدوده nm ۲۳ الی nm ۲۹ بوده و میزان زبری سطح آنها در حدود nm ۸ اندازه گیری شد. با توجه به میزان شفافیت و مقدار مقاومت ویژه، ATZO دارای قابلیت کاربرد در ترانزیستور های لایه نازک است.کلیدواژه ها
لایه نازک, اکسید روی آلاییده شده, خواص الکتریکی, خواص نوریاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.