نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم های سیلیکون
- سال انتشار: 1396
- محل انتشار: فصلنامه علوم و مهندسی سطح ایران، دوره: 13، شماره: 33
- کد COI اختصاصی: JR_IJSSE-13-33_008
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 347
نویسندگان
سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو، تهران، ایران
سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی های نو، تهران، ایران
چکیده
فیلم هایی از سیلیکون آمورف به روش لایهنشانی فیزیکی فاز بخار به کمک پرتو الکترونی (EB-PVD) ایجاد شد. فرآیند لایهنشانی در شرایط خلا بالا (torr ۶-۱۰) که منجر به تشکیل یک پوشش آمورف البته با ضخامت های کنترل شده انجام شد. پس از نمونه سازی، نمونه ها در دمای oC۸۰۰ و در محیط گاز خنثی تحت شرایط عملیات حرارتی قرار گرفت و ویژگی های ساختاری و الکتریکی آن قبل و بعد از عملیات حرارتی مورد تحلیل قرار گرفت. نتایج حاصل از میکرورامان نشاندهنده ساختار آمورف در پوششهای اولیه بود که با افزایش ضخامت پوشش و حضور نقایص بیشتر مقداری از نانوکریستالها تشکیل شد. علاوه بر آن با اعمال شرایط عملیات حرارتی تشکیل، رشد و ادغام نانوکریستالها و تشکیل یک ساختار پلیکریستال را شاهد هستیم. نانوکریستالها منجر به تشکیل پیوندهای sp۲ و sp۳شده که همین خود باعث افزایش هدایت الکتریکی پوشش در این شرایط شد و این افزایش هدایت الکتریکی با افزایش ضخامت پوشش بر روی نمونه های موردبررسی به شدت افزایش یافت.کلیدواژه ها
فیلم آمورف سیلیکون, نانوکریستال سیلیکون, زبری سطح, عملیات حرارتی, هدایت الکتریکیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.