مدل سازی اثر مهم ترین عوامل موثر بر رفتار سینتیکی واکنش نیتریده کردن سیلیسیم به روش پیوند واکنشی بر اساس روش گروهی بررسی داده

در مطالعه حاضر با استفاده از روش محاسباتی به نام بررسی گروهی داده (group method of data handling) مدل موثر برای پیش بینی میزان پیشروی واکنش نیتریده کردن سیلیسیم به روش پیوند واکنشی، توسعه داده شده است. ۲۱۸۶ داده از آزمایش های انجام شده در این تحقیق و اطلاعات موجود در کار های گذشته استخراج شده است. تاثیرات مهم ترین پارامتر ها مثل زمان، دما، درصد گاز نیتروژن، اندازه قرص و اندازه ذره سیلیسیم اولیه بررسی شده است. واکنش نیتریده کردن سیلیسیم در دمای ۱۵۷۳ درجه کلوین انجام شد و نتایج آزمایش با مقادیر حاصل از مدل مقایسه و با استفاده از پارامترهای خطای آماری عملکرد مدل با خطای ۹۶/۰ تایید شد. همچنین عملکرد دقیق و موثر مدل GMDH در برابر مدل های تحلیلی قبلی مقایسه شد. با استفاده از آنالیز حساسیت، فشار نیتروژن با مقدار ۲۷/۰ موثرترین پارامتر در میزان نیتریده شدن تعیین شد.

کلیدواژه ها:

الگوریتم ، سرامیک ، مدل سازی ، سیلیسیم نیترید ، برنامه نویسی ، سینتیک ، الگو ، برازش