تاثیر دما بر روی خواص نوری و توپوگرافی لایه های نازک ZrO۲ تهیه شده به روش کند و پاش مغناطیسی بسامد رادیویی RF
- سال انتشار: 1400
- محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 21، شماره: 2
- کد COI اختصاصی: JR_PSI-21-2_010
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 308
نویسندگان
گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه بین المللی امام خمینی، قزوین
گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه بین المللی امام خمینی، قزوین
بخش لایه نشانی، مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه بین المللی امام خمینی، قزوین
چکیده
در این مقاله لایه نازک ZrO۲با استفاده از روش کند و پاش مغناطیسی RF روی زیرلایه از جنس شیشه رشد داده شدند. در سه آزمایش جداگانه، سه نمونه لایه ZrO۲در دماهای متفاوت تهیه شدند. سه دمای ۲۵ درجه سانتی گراد (دمای آزمایشگاه)، دمای ۱۵۰ درجه سانتی گراد و دمای ۲۵۰ درجه سانتی گراد به ترتیب برای سه نمونه انتخاب شدند. به جز دما پارامترهای دیگر نظیر فشار، آهنگ رشد لایه، فاصله زیرلایه تا هدف و بازه زمانی لایه نشانی برای هر سه نمونه یکسان بودند. خصوصیات اپتیکی و ریخت شناسی نمونهها مورد بررسی قرار گرفتند. ریخت شناسی نمونهها به وسیله تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی AFM و میزان شدت عبور نور با استفاده ازدستگاه طیف سنج نوری انجام گرفت. همچنین ثابتهای اپتیکی لایهها با استفاده از طیف عبور آنها محاسبه شدند. نتایج به دست آمده نشان میدهند اثر دما به خصوص بر ویژگیهای اپتیکی لایهها مشهود است. با افزایش دما از دمای محیط آزمایشگاه تا دمای۲۵۰ درجه سانتی گراد، ضریب شکست از تا تغییر میکند. افزون بر این، افزایش دما باعث افزایش جذب لایه میشود ریخت شناسی لایهها نیز با دما به طور نسبتا محسوسی تغییر میکنند. متوسط زبری هر سه نمونه کمتر از نیم نانومتر است.کلیدواژه ها
لایه نازک زیرکونیم دی اکسید, کند و پاش مغناطیسی, ریخت شناسی لایه, ویژگی های اپتیکیاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.